Нано скретч-тестер (NST³)

Нано скретч тестер разработан для оценки адгезии, хрупкости, деформации, отслаивания и износостойкости в тонких пленках и покрытиях с типичной толщиной менее 1000 нм. Нано скретч тестер может использоваться для анализа органических и неорганических веществ; мягких и твердых покрытий. Примерами могут служить многослойные покрытия PVD, CVD, PECVD, фоторезист, краски, лаки и многие другие типы пленок, покрывающих оптические приложения, микроэлектронику, защитные, декоративные и другие типы приложений. Подложки могут быть мягкими или твердыми, включая металлические сплавы, полупроводники, стекло и органические материалы.
Метод реализует контролируемое царапание алмазным индентором на выбранном участке образца/изделия при заданном режиме нагрузки и длине царапины. Наконечник индентора (обычно алмаз, сапфир, карбид вольфрама) перемещается по поверхности образца с постоянной, возрастающей или прогрессивной нагрузкой. При определенной критической нагрузке покрытие начнет трескаться, разрушаться и отслаиваться. Критические нагрузки очень точно регистрируются акустическим сенсором (MST и RST) закрепленном на кронштейне царапающего индентора, одновременно их можно визуально зафиксировать посредством оптического микроскопа.

Информация о поведении образца одновременно снимается с датчиков:

Глубины проникновения по оси Y (мкм)
Силы трения (Н)
Перемещения по Х (скорость (мм/мин), длина царапания (мм))
Акустической эмиссии
Прилагаемой нагрузки (Н)

Ключевые особенности

Превосходное нано скретч-тестирование

• Запатентованная двухконсольная балка в комбинации с пьезоэлектрическим актуатором
• Царапина проводится алмазным индентором конической формы, что исключает погрешности, связанные с влиянием ориентации граней индентора, например, Берковича
  
• Система активной обратной связи управления нагрузкой позволяет проводить царапание на неплоских поверхностях (сверла, линзы и др.)
• Измерительное царапание с режимом предварительного сканирования для коррекции неровностей поверхности
• Высокоточное профилирование
• Режим «Панорама» в цифровой форме «склеивает» кадры частей царапины друг с другом и синхронизирует с графиком скретч-теста
• Режим «Мультифокус» — режим многократного фотографирования с различной глубиной резкости для получения изображение в резкости по всей глубине
• Запатентованное измерение истинной глубины пенетрации для изучения упругого восстановления
• Измерение глубины царапины с коррекцией пред- и пост-сканирования
• Высококачественные оптические изображения (оптический видео-микроскоп с барабаном на 4 позиции
• Проведение классического измерения твёрдости с измерением геометрии отпечатка индентора
• Точное тестирование и анализ износа
• Совместим со стандартами ISO и ASTM

Опции:

• Нано-индентация, микро-индентация, модули для насенения микро царапин и/или измерения нанотрибологии
• Видеомикроскоп высокого разрешения с увеличением до 4000х (стандартная опция)
  
• Модуль УльтраНаноиндентирования UNHT (Ультрананотвердомер)
  
• Модуль Наноиндентирования NHT² (Нанотвердомер)
  
• Модуль Микро-индентирования MHT (Микротвердомер)
  
• Контроль вакуума, влажности или температуры
• Модуль Микро-скретч-тестирования MST
  
• Модуль Атомно Силовой Микроскоп (AFM)
• Модуль конфокальный микроскоп ConScan 3D
• Набор для проверки нагрузки, силы трения и глубины пенетрации